高純氣體管路設計的5個(gè)要點(diǎn)

　?。?）根據用氣設備的分布情況，高純氣體的管網(wǎng)不宜過(guò)大或者過(guò)長(cháng)。
　?。?）管路中應減少不流動(dòng)氣體的“死空間”，不應設有盲管，在特種氣體的儲氣瓶與用氣設備之間應設吹掃控制裝置、多閥門(mén)控制裝置。
　?。?）對于不同特性的氣體，要規劃獨立的供應區域，一般分為三個(gè)區：腐蝕性/毒性氣體區、可燃性氣體區、惰性氣體區。
　?。?）對高純氣體純度要求不同的用氣設備，宜采用分等級高純氣體輸送系統。
　?。?）管路設計需要考慮輸送的距離，距離越長(cháng)，成本越高，風(fēng)險也越高，通常較合理的設計流速為20ml/S，可燃性氣體小于10ml/S,毒性/腐蝕性氣體小于8ml/S。